Группа «РОСНАНО» и ГК «Элемент» договорились о сотрудничестве в сфере импортозамещения фотолитографического оборудования

Группа «РОСНАНО» и крупнейший в России производитель микросхем ГК «Элемент» договорились о сотрудничестве в сфере импортозамещения фотолитографического оборудования.

В рамках Форума «Микроэлектроника-2024» в Сириусе резиденты ОЭЗ «Технополис Москва» — компания «Микрон» (входит в ГК «Элемент») и Зеленоградский нанотехнологический центр (входит в контур Группы «РОСНАНО») подписали долгосрочное соглашение о совместной работе над освоением технологий и производстве фотолитографического оборудования с нормами 350-90 нм.

Цель  — полностью импортозаместить микроэлектронные чипы на территории Российской Федерации.

«Производство фотолитографа требует мощнейшего научного потенциала, в мире менее 10 стран, способных его производить, в их числе и Россия. В рамках сотрудничества с „Микроном“ планируются совместные исследования, экспериментальные работы и тестирование фотолитографического оборудования с топологическими нормами 350-90 нм, разрабатываемого совместно с белорусским ОАО „Планар“», — отметил генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.

Первый российский фотолитограф для выпуска чипов 350 нм был создан в Зеленограде на базе нанотехнологического центра. Его разработка велась с 2022 года по заказу Министерства промышленности РФ.

В настоящее время в Группе «РОСНАНО» проходят предварительные испытания опытного образца. По некоторым оценкам, стоимость отечественных фотолитографов, должна быть ниже зарубежных.